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千級(jí)無塵烘箱
產(chǎn)品型號(hào):RSD-COL-620H
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

RSD-COL-620H千級(jí)無塵烘箱,昆山榮仕達(dá)電子設(shè)備有限公司是江蘇專業(yè)制造千級(jí)烘箱的廠家,系列產(chǎn)品用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;千級(jí)無塵烘箱也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

RSD-COL-620H千級(jí)無塵烘箱技術(shù)參數(shù):


千級(jí)潔凈烤箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

 
無塵烤箱參數(shù)資料:
一.特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 1000/100/10
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用進(jìn)口SUS304#2mm厚之鏡面不銹鋼板或國(guó)標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避
免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
二.執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)
1.GB/T11158-1989高溫烘烤技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989標(biāo)準(zhǔn)B
三.用途
無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵潔凈烘箱溫度選配60~250(300℃)
四.產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
 1.名稱及型號(hào):RSD-COL-620H
 2.主要技術(shù)指標(biāo):
 2.1無塵等級(jí):Class 1000;
 2.2溫度范圍: 60~250(300℃);
 2.3溫度均勻度:±2.5℃;
 2.4溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
 2.5溫控精度:±0.1℃;
 2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。
 2.7工作尺寸:W800×H1300×D600
 2.8電源:380v , 50Hz,8.5Kw
 3、千級(jí)烘箱箱體結(jié)構(gòu):
 3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
 3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;
 3.3箱體材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
 3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#之鏡面不銹鋼板或國(guó)標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE;
 3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#鏡面不銹鋼板或國(guó)標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
 4、溫控系統(tǒng)
 4.1采用三菱PLC觸摸屏加日本OMRON E5A型溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定,**度±0.3%  FS;
 4.2訊號(hào)來源:采日制進(jìn)口BA感應(yīng)棒±0.5%。
 4.3輸出被控制組件:SSR無接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
 5、完善的**保護(hù)措施:漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置、電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示逆向防止器、門面**開關(guān)
 6、無塵烘箱選購(gòu)設(shè)備:
 6.1 可程式溫控器
 6.2六點(diǎn)溫度記錄儀
 6.3雙色指示燈
 6.4烘烤架


RSDCOL系列智能千級(jí)烘箱(型號(hào)規(guī)格表)

 容積

    型號(hào)

控溫范圍

 控溫精度

 電源電壓

 內(nèi)膽尺寸(mm)

  層數(shù) 

 70L

 RSD-COL-070H

 RT-250℃

   ±1℃

 220V/50Hz

  W400*D350*H500

   2層

 180L

 RSD-COL-180H

 RT-250℃

   ±1℃

 220V/50Hz

  W600*D600*H500

   2層

 270L

 RSD-COL-270H

 RT-250℃

   ±1℃

 380V/50Hz

  W600*D500*H900

   3層

 340L

 RSD-COL-340H

 RT-250℃

   ±1℃

 380V/50Hz

  W700*D700*H700

   3層

 620L

 RSD-COL-620H

 RT-250℃

   ±1℃

 380V/50Hz

  W800*D600*H1300

   4層

 640L

 RSD-COL-640H

 RT-250℃

   ±1℃

 380V/50Hz

  W800*D800*H1000

   4層

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