RSD-COL-620H千級(jí)無塵烘箱技術(shù)參數(shù):
千級(jí)潔凈烤箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
無塵烤箱參數(shù)資料:
一.特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 1000/100/10
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用進(jìn)口SUS304#2mm厚之鏡面不銹鋼板或國標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避
免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
二.執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)
1.GB/T11158-1989高溫烘烤技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989標(biāo)準(zhǔn)B
三.用途
無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵潔凈烘箱溫度選配60~250℃(300℃)
四.產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào):RSD-COL-620H
2.主要技術(shù)指標(biāo):
2.1無塵等級(jí):Class 1000;
2.2溫度范圍: 60~250℃(300℃);
2.3溫度均勻度:±2.5℃;
2.4溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。
2.7工作尺寸:W800×H1300×D600
2.8電源:380v , 50Hz,8.5Kw
3、千級(jí)烘箱箱體結(jié)構(gòu):
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#之鏡面不銹鋼板或國標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#鏡面不銹鋼板或國標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
4、溫控系統(tǒng)
4.1采用三菱PLC觸摸屏加日本OMRON E5A型溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定,**度±0.3% FS;
4.2訊號(hào)來源:采日制進(jìn)口BA感應(yīng)棒±0.5%。
4.3輸出被控制組件:SSR無接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
5、完善的**保護(hù)措施:漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置、電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示逆向防止器、門面**開關(guān)
6、無塵烘箱選購設(shè)備:
6.1 可程式溫控器
6.2六點(diǎn)溫度記錄儀
6.3雙色指示燈
6.4烘烤架
RSDCOL系列智能千級(jí)烘箱(型號(hào)規(guī)格表)
容積
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型號(hào)
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控溫范圍
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控溫精度
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電源電壓
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內(nèi)膽尺寸(mm)
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層數(shù)
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70L
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RSD-COL-070H
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RT-250℃
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±1℃
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220V/50Hz
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W400*D350*H500
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2層
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180L
|
RSD-COL-180H
|
RT-250℃
|
±1℃
|
220V/50Hz
|
W600*D600*H500
|
2層
|
270L
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RSD-COL-270H
|
RT-250℃
|
±1℃
|
380V/50Hz
|
W600*D500*H900
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3層
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340L
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RSD-COL-340H
|
RT-250℃
|
±1℃
|
380V/50Hz
|
W700*D700*H700
|
3層
|
620L
|
RSD-COL-620H
|
RT-250℃
|
±1℃
|
380V/50Hz
|
W800*D600*H1300
|
4層
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640L
|
RSD-COL-640H
|
RT-250℃
|
±1℃
|
380V/50Hz
|
W800*D800*H1000
|
4層
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